“以碳化硅為襯底做成的晶圓,現(xiàn)在每片價格高達30萬元!”一家主營功率器件的公司負責人如此感嘆。
隨著新能源汽車巨頭陸續(xù)試水,碳化硅在新能源汽車、光伏領域、電力市場快速放量。國內碳化硅產業(yè)鏈發(fā)展狀況如何?未來市場空間有多大?近日,記者專訪了露笑科技董事長魯永。
“未來需求量和增速都非??捎^,整個產業(yè)鏈瓶頸還是襯底片、外延片?!濒斢澜榻B,露笑科技在藍寶石襯底片、長晶爐等領域積累了豐富經驗,進入材料硬度接近、前景廣闊的碳化硅領域可謂順理成章。在公司首席科學家陳之戰(zhàn)的帶領下,公司在碳化硅襯底片領域取得了突破性進展,成為國內領先的導電型碳化硅襯底片公司。
碳化硅為什么火了?
在特斯拉采用了碳化硅功率器件后,碳化硅變得炙手可熱。
“一方面,碳化硅成本持續(xù)下降,越來越多的應用端可以接受了,開始主動采用碳化硅器件提升產品性能;另一方面,‘雙碳’戰(zhàn)略下,節(jié)能減排需求也助推了用戶加速采用碳化硅器件?!濒斢勒J為,在技術端和應用端合力推進下,碳化硅的應用市場進入了爆發(fā)期。
對于采用碳化硅的“好處”,魯永給記者舉了一個例子:在發(fā)電行業(yè),當交流電直流電轉換時,如果關鍵器件采用碳化硅,可大幅減少轉換過程中的電力損耗。即便這個比例是1%,那節(jié)能總量也是驚人的。
記者了解到,小鵬G9采用800V高壓SiC平臺,相比400V平臺續(xù)航提升了5%。這意味著,整車廠可以在采用相同電池容量情況下,通過碳化硅器件將續(xù)航里程提升5%;或者在設計相同續(xù)航里程情況下,減少搭載的電池容量5%。兩種情況都有助于整車廠顯著降低成本。
“光伏逆變器已經采用碳化硅器件,新能源汽車用碳化硅將在未來一兩年內快速放量?!濒斢辣硎?,碳化硅功率器件具有高電壓、大電流、高溫、高頻率、低損耗等獨特優(yōu)勢,與硅基功率器件相比,可大幅提高能源轉換效率,未來在光伏、新能源汽車、電力電子、軌道交通等領域具有確定的大需求、高增長。
記者注意到,全球主要的碳化硅供應商紛紛擴產。全球最大的碳化硅供應商Wolfspeed宣布將新建8英寸晶圓廠,羅姆希望在未來5年內將產能提高5倍,東芝計劃到2024年將碳化硅產量提高3倍;國內廠商方面,天岳先進投資25億元擴產6英寸導電型碳化硅襯底材料,露笑科技定增募資25.67億元用于大尺寸碳化硅襯底片等項目。
魯永認為,碳化硅進入需求驅動成長的階段,需求放量帶來成本價格下降,進而又帶動新的需求,這樣的正循環(huán)正在加速推動產業(yè)成長。多家機構看好碳化硅市場的高成長性。Yole預測,2021年全球碳化硅功率器件的市場規(guī)模約10億美元,預計到2025年將超過37億美元,年復合增長率超過34%。
襯底片為什么是瓶頸?
“未來市場的年需求量高達200萬至300萬片,完全不用擔心產能過剩。”對于全球碳化硅擴產大潮,魯永告訴記者,當前碳化硅襯底片、外延片供不應求,成為產業(yè)發(fā)展掣肘。
難道不是買個爐子(長晶爐)就可以拉晶棒、切碳化硅襯底片了嗎?“整個生產過程涉及很多參數(shù)設定、耦合效應,每一道工序都會影響碳化硅襯底片的質量和良率?!泵鎸τ浾咭苫?,魯永解釋道。
據(jù)介紹,碳化硅襯底片的制備過程非常復雜,首先是將高純碳粉、高純硅粉合成碳化硅粉,在特殊溫場下,采用物理氣相傳輸法(PVT)生長出碳化硅晶錠,然后將晶錠加工成晶棒,再切割為碳化硅晶片,經過研磨、拋光、清洗等多道工序,得到碳化硅襯底片。
“長晶就是最大的難點之一,晶錠每增加一毫米厚度,廠商都要付出巨大的努力?!濒斢辣硎荆@背后是亟待解決的兩個世界性難題:一是碳化硅晶體生長的速度、穩(wěn)定性跟不上產業(yè)需求的快速放量;二是碳化硅晶錠厚度與質量的矛盾。在晶錠生長過程中,氣態(tài)碳化硅會持續(xù)分解為碳和硅,這些雜質附著在晶錠上不僅影響晶錠的質量(比如純度),還減緩晶錠生長速度,廠商必須在晶錠厚度和質量間取一個平衡。
不僅是長晶,碳化硅襯底片生產的每一個步驟、每一個物料都至關重要?!奥缎萍籍a能增長現(xiàn)在就嚴重受到輔料的影響,比如高品質的拋光材料國內就很缺乏?!濒斢勒f。
掌握碳化硅核“芯”技術
目前,露笑科技已經能量產碳化硅襯底片,并與下游企業(yè)簽訂了大額長單。這得益于露笑科技前瞻布局、練就一手絕活。
“從軟硬件設備到籽晶,再到整個生產及控制、成本管控,露笑科技構建了一整套的知識產權和工藝標準,確保碳化硅襯底片的質量和生產效率?!濒斢缽娬{,這樣的內功可不是一蹴而就的。露笑科技通過藍寶石加工業(yè)務,在晶體生長、切、磨、拋技術及工藝等領域積累了深厚的實力,又經過三四年的研發(fā),才有了今天的成果。
說到這里,魯永笑呵呵地說,露笑科技的進展太快了,以至于讓外界懷疑,這家公司到底是在吹牛還是有真功夫?
“不同于業(yè)界采用‘小試、中試、產線’等做法,露笑科技總結、開創(chuàng)了一個全新的、快速迭代的產業(yè)化模式?!睂τ诼缎萍嫉莫毐脔鑿剑斢肋M一步解釋,露笑沒有秉承傳統(tǒng)的“在實驗室孵化成功再產業(yè)化”思路,而是一開始就直接把研發(fā)實驗室搬到了廠里,在大產線上直接進行驗證、試驗,從而大大縮短了工藝開發(fā)與驗證的過程、直接提升了產品質量和良率。
創(chuàng)新研發(fā)模式,露笑科技大大加快了碳化硅襯底片的產業(yè)化速度。魯永介紹,目前露笑科技一共有280臺長晶爐,預計8月襯底片出貨量可達到500至1000片,今年年底可達到5000片/月的產能,到2023年4月產能可達到1萬片/月;預計2023年能夠實現(xiàn)年產20萬片的產能規(guī)劃。
露笑科技的碳化硅襯底片已通過多家終端用戶的驗證。公司碳化硅襯底片二極管(SBD)前期已通過相關下游用戶驗證,用到了光伏器件中;三極管(MOSFET)目前還在驗證過程中?!岸O管驗證周期半年到一年,但三極管驗證周期是一至兩年,所以后者還需要一點時間?!?/p>
“掌握碳化硅核‘芯’技術,做第三代半導體領跑者?!痹诼缎萍脊镜膲Ρ谏希瑥堎N著這樣一張醒目的標語。
露笑科技已經成為國內排名靠前的導電型碳化硅襯底片供應商,未來將大幅提升產能,同時預研、儲備8英寸襯底片技術?!拔覀儠罡蓟栊袠I(yè)?!濒斢勒f。